氯化氫

    近幾年來，隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子級氯化氫氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。

    我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場。

    高純氨作為電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體，是化學氣相沉積（CVD）重要的“氮”源。光明化工研究設計院總工程師孫福楠介紹說，2010年，國產(chǎn)高純氨在太陽能領域發(fā)揮了巨大的作用。由于國產(chǎn)高純氨進入市場，改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。

    我公司的5.0N電子級(VLSI)氯化氫產(chǎn)品經(jīng)國內(nèi)外多家半導體重點企業(yè)連續(xù)大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用，制得的器件產(chǎn)品質(zhì)量與國際知名品牌相當。